Microtecnología : diario de un proceso : fabricación de un microacelerómetro

Fabricación de un microacelerómetro.

Acero Leal, María Cruz / Plaza Plaza, José Antonio / Lora-Tamayo d'Ocón, Emilio / Esteve Tintó, Jaume

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Microtecnología : diario de un proceso : fabricación de un microacelerómetro

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Fabricación de un microacelerómetro.

Acero Leal, María Cruz / Plaza Plaza, José Antonio / Lora-Tamayo d'Ocón, Emilio / Esteve Tintó, Jaume

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El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detallad... Leer descripción completa
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Índice

PRESENTACIÓN.- PARTE I. DESCRIPCIÓN DE LOS MICROACELERÓMETROS: Microacelerómetros piezorresistivos basados en tecnología BESOI.- PARTE II. DIARIO DEL PROCESO DE FABRICACIÓN: Diario del proceso de fabricación. Obleas de silicio.- Diario del proceso de fabricación. Obleas de vidrio.- Diario del proceso de fabricación. Dispositivos acabados.- ANEXO I. RELACIÓN DE VÍDEOS INCLUIDOS EN EL DVD.

Ficha Técnica

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